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型號 | Inspire564 | Inspire686 | Inspire8106 | Inspire10158 | Inspire10208 | Inspire122010 | |
行程(mm) | X | 500 | 600 | 800 | 1000 | 1000 | 1200 |
Y | 600 | 800 | 1000 | 1500 | 2000 | 2000 | |
Z | 400 | 600 | 600 | 800 | 800 | 1000 | |
操作方式 | 自動 | ||||||
測頭系統(tǒng) | 雷尼紹PH10T 或MH20I | ||||||
計數(shù)系統(tǒng) | 雷尼紹反射式光柵尺0.5μm | ||||||
測量軟件 | RationalDMIS | ||||||
結構 | 移動橋式 | ||||||
導向方式 | 空氣軸承 | ||||||
精度(μm) | 2.3+L/300 | 2.6+L/250 | 2.7+L/250 | 3.2+L/250 | 3.2+L/250 | 3.6+L/250 | |
最大承重(kg) | 500 | 800 | 1000 | 1600 | 1700 | 220 | |
供氣壓力 | 0.5MPa |