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INSPECT系列測(cè)量金相顯微鏡
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科技的INSPECT系列測(cè)量金相顯微鏡適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板(LCM)、晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域!
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用途
技術(shù)參數(shù)
用途:
INSPECT系列測(cè)量金相顯微鏡適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板(LCM)、晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域。
儀器特點(diǎn):
■高精度大理石底座和立柱、有效保證極高的穩(wěn)定性及剛性
■大理石工作臺(tái)設(shè)計(jì)、配合精密V型交叉導(dǎo)軌、長(zhǎng)久使用不會(huì)變形,有效保證極高的機(jī)械精度
■高品質(zhì)光學(xué)系統(tǒng)和高分辨率CCD,確保擁有高品質(zhì)的測(cè)量畫面
■三環(huán)八區(qū)LED環(huán)形表面冷光源及輪廓光源、避免燈光發(fā)熱而影響精密工件的變形
■測(cè)量金相顯微鏡可選配日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪
■自主研發(fā)影像測(cè)量?jī)x軟件、功能強(qiáng)大、操作簡(jiǎn)單
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)
INSPECT300
INSPECT400
INSPECT500
X、Y軸行程(mm)
300*200
400*300
500*400
載物臺(tái)玻璃尺寸(mm)
357*257
457*357
557*457
Z軸行程(mm)
100
X、Y、Z軸分辨率 (μm)
1
長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)
光柵位移傳感器
精度 (μm)
2.5+L/150 L=被測(cè)工件長(zhǎng)度,單位:mm
儀器操作
手動(dòng)
圖像檢測(cè)裝置
高分辨率CCD攝像機(jī)
五段變倍鼻輪物鏡倍數(shù)
5X
10X
20X
50X
目鏡
WF10X
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