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型號 | ICP300 | ICP400 | ICP500 | ||||
工作臺 | X軸行程 | 300mm | 400mm | 500mm | |||
Y軸行程 | 200mm | 300mm | 400mm | ||||
Z軸行程 | 200mm | 200mm | 200mm | ||||
玻璃臺面 | 357mm*257mm | 457mm*357mm | 557mm*457mm | ||||
承重 | 20kg | ||||||
攝影系統(tǒng) | CCD | 1200萬高清晰彩色CCD | |||||
鏡頭 | 雙側(cè)遠心鏡頭 | ||||||
視野范圍 | 300*200*200mm(拼接) 80*60mm(單視野) | ||||||
工作距離 | 90mm | ||||||
光柵尺 | 臺灣高精密封閉光柵尺 分辨率: 0.001mm | ||||||
測量精度 | (3.5+L/100)µm L表示測量的長度 | ||||||
照明 | 平行透射光(選配表面同軸光)亮度可調(diào) | ||||||
電源 | 110V-220V±10% 50/60Hz 電流大于10A | ||||||
測量系統(tǒng) | 自動測量軟件 | ||||||
電源 | AC100~240V 50/60Hz |